表面光潔度和表面粗糙度是相同的概念。表面光潔度是表面粗糙度的另一種方法。表面光潔度基于人類的視覺，而表面粗糙度則基于實際的表面幾何形狀。由于與國際標準（ISO）集成，在80年代后使用了表面粗糙度來消除表面光潔度。標準GB3505-83和GB1031-83的表面粗糙度頒布后，不再使用表面光潔度。
表面粗糙度和表面粗糙度是對應的。粗糙度具有測量公式，而平滑度只能與模板規進行比較。因此，粗糙度要比平滑度更科學，更嚴格。
       表面光澤度是物體表面上光的漫反射強度。對于裸眼來說，表面上的強反射更接近鏡面效果，并且光澤度很高。相反，當表面漫反射弱時，光澤度低，因此該光澤度也稱為鏡子的光澤度。影響表面光澤度的因素是表面的物理性質和表面上使用的材料的化學性質。需要將測量對象表面的光澤度的方法應用于表面光澤度計。
       表面粗糙度（surfaceroughness）是指間距較小，峰谷較小的加工表面的粗糙度。兩個峰或兩個波谷之間的距離很小（小于1mm），屬于微觀幾何誤差。表面粗糙度越小，表面越光滑。
表面粗糙度通常由加工方法和其他因素形成，例如工具與表面之間的摩擦，切屑分離過程中表面層的塑性變形以及加工系統中的高頻振動。由于加工方法和工件材料之間的差異，加工表面的深度，密度，形狀和紋理是不同的。
表面粗糙度與機械零件的匹配性能，耐磨性，疲勞強度，接觸剛度，振動和噪聲密切相關，并且對機械產品的使用壽命和可靠性具有重要影響。一般注釋使用Ra